1、真空泵性能下降

　　先觀察真空泵油位及油是否被污染，若真空泵油質量明顯下降，有乳化現象后，需立即更換，并查明原因，若真空泵吸入少量水分，可打開氣鎮閥，1 h后觀察真空泵油是否改善，真空度是否下降。若真空泵經多次換油仍無明顯改觀，可視為真空泵故障，需對真空泵進行檢修。

　　2、系統泄漏

　　請用排除法逐一檢查可能漏的點、閥門、相關的密封圈。

　　3、箱體內部有水

　　冷凝器化霜不*，水沒有排干，導致在箱體底部的水不斷揮發而影響抽真空。

　　4、真空規管出現問題

　　 1)真空規管安裝不正確。正確的方法為：規管垂直安裝、安裝位置要接近抽氣口、遠離放氣口。

　　 2)真空規管在使用的過程中內部進入了一些水分或其他揮發性液體導致真空度顯示出現跳動、不準確等現象，請用吹風機將其內部吹干后投入使用。

　　 3)規管本身的性能隨著時間的推移逐步降低，可以用**溶劑對規管內部加以清洗，風干后校核其顯示準確性。

　　 4)操作人員對真空規管的使用不規范，比如在規管帶電時對其連接導線任意拔插，規管有負載時任意地去拆卸、搬運時沒有能夠輕拿輕放等，終使規管受到破壞。